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Vergleichstabelle –
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| ISO 14644-1 Klasse |
gemessene Partikelgrösse Ø in µm | US-Fed. Standard 209d |
EG- GMP |
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| 0,1 | 0,2 | 0,3 | 0,5 | 1 | 5 | |||
| 9 | — | — | — | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 | ||
| — | — | — | — | — | — | — | ||
| 8 | — | — | — | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | ||
| N.A. | N.A. | N.A. | 100.000 | — | 700 | 100.000 | D | |
| 7 | — | — | — | 352.000 | 83.200 | 2.930 | ||
| N.A. | N.A. | N.A. | 10.000 | — | 70 | 10.000 | C | |
| 6 | 1.000.000 | 237.000 | 102.000 | 35.200 | 8.320 | 293 | ||
| NA. | NA. | NA. | 1.000 | — | 7 | 1.000 | ||
| 5 | 100.000 | 23.700 | 10.200 | 3.520 | 832 | 29 | ||
| NA. | N.A. | N.A. | 100 | — | — | 100 | A+B | |
| 4 | 10.000 | 2.370 | 1.020 | 352 | 83 | — | ||
| 350 | 75 | 30 | 10 | — | — | 10 | ||
| 3 | — | — | — | 352.000 | 83.200 | 2.930 | 1 | |
| — | — | — | — | — | — | |||
| 2 | — | — | — | 3.520.000 | 832.000 | 29.300 | ||
| — | — | — | — | — | — | |||
| 1 | — | — | — | 35.200.000 | 8.320.000 | 293.000 | ||
| — | — | — | — | — | — | |||
| Angaben bezogen auf m3 ≙ 35 ft3 | Angaben bezogen auf ft3 ≙ 0,0284 m3 ≙ 28 Liter | |||||||
| (NA. oder not applicable; nicht anwendbar) | ||||||||
| ASHRAE 52-76 | DIN 24 184 | DIN 24 185 | DIN EN 779 |
Filterart | |
| synthetischer Staub [%] |
atmosphärischer Staub [%] |
alt | Eurovent 4/5 |
||
| Am < 65 | A | EU 1 | G 1 | Vorfilter | |
| 65 < Am > 80 | — | EU 2 | G 2 | ||
| 80 < Am > 90 | B 1 | EU 3 | G 3 | ||
| 90 < Am | B 2 | EU 4 | G 4 | ||
| 40 < Em > 60 | C 1 | EU 5 | F 5 | Feinfilter | |
| 60 < Em > 80 | C 1 | EU 6 | F 6 | ||
| 80 < Em > 90 | C 2 | EU 7 | F 7 | ||
| 90 < Em > 95 | C 3 | EU 8 | F 8 / F 9 | ||
| 95 < Em | C 3 | EU 9 | F 9 | ||
| HEPA-Filter | |||||
| Mil-STD282 DOP-Test |
BS3928 NaCl |
DIN 24184 Parafinöl |
DIN 24 183 | DIN EN 1822-1 DEHS |
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| Ø 0,3 µm | Ø 0,6 µm | Ø 0,3 - 0,5 µm | Abscheidegrad MPPS [%] |
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| 95 | 95 < η < 99,9 | Q | EU 10 | H 10 | > 85 |
| 99,97 | 99,9 < η < 99,97 | R | EU 11 | H 11 | > 95 |
| 99,99 | 99,7 < η < 99,99 | S | EU 12 | H 12 | 99,5 |
| 99,999 | 99,99 < η < 99,999 | S | EU 13 | H 13 | 99,95 |
| 99,999 < η < | S / T | EU 14 | H 14 | 99,995 | |
| ULPA-Filter | |||||
| — | — | — | EU 15 | U 15 | 99,9995 |
| — | — | — | EU 16 | U 16 | 99,99995 |
| — | — | — | EU 17 | U 17 | 99,999995 |
Bei diesem Prüfverfahren wird flüssiges DOP (Dioctylphthalat) als Prüfaerosol eingesetzt. Dieses Aerosol mit einem mittleren Ø von 0,3 µm wird in einer Konzentration von ca. 100 mg/m³ erzeugt. Die Messung erfolgt mit Hilfe eines Streulichtphotometers. Entsprechend der Prüfergebnisse werden die Filter eingeteilt.
Bei diesem Prüfverfahren wird festes Aerosol NaCl (mittlerer Ø 0,6 µm) verwendet, das mit einer Konzentration von ca. 14 mg/m³ dispergiert zur Prüfung eingesetzt wird. Die Messung erfolgt durch den flammenphotometrischen Nachweis des Natriums. Entsprechend der Prüfergebnisse werden die Filter eingeteilt.
Bei diesem Prüfverfahren wird (seit 1990) ausschliesslich Parafinöl als Prüfaerosol (mittlerer Ø 0,3 - 0,5 µm) bei einer Konzentration von 10 - 80 mg/m³ verwendet. Die Messung erfolgt mit Hilfe eines Streulichtphotometers. Entsprechend der Prüfergebnisse werden die Filter eingeteilt.
Als Prüfaerosol dient DES bzw. DEHS. Ein monodisperses fluides Aerosol, dessen Partikelgrösse variiert werden kann. Die Konzentration des Prüfaerosols liegt deutlich unter 0,1 mg/m³. In einem ersten Verfahrensschritt wird der fraktionelle Abscheidegrad des planen Filtermediums bestimmt. Damit hat man den Ø der Most Penetrating Size (MPPS) ermittelt, bei dem sich der Minimalwert des Abscheidegrads für das betreffende Filtermedium einstellt. Für die meisten Filter liegt dieser Ø im Bereich von 0,1 - 0,2 µm.
der mit den
verschiedenen Systemen
erreichbaren Reinraumklassen
Ausgangspunkt der Reinraumtechnik war der Wettlauf zwischen den USA und der UdSSR um die Eroberung des Weltraums. Die zu dieser Zeit geringeren Schubkräfte der amerikanischen Raketen und das dadurch bedingte Transportdefizit erzwang konsequente Miniaturisierung der mechanischen, hydraulischen, und elektronischen Bauelemente.
Die Produktion, Verarbeitung und Montage von Klein- und Kleinstbauteilen stellt auch an die Luftreinheit höchste Anforderungen.
Bei konventionell belüfteten »Reinen Räumen« hat die Luftreinheit unmittelbar hinter dem Zuluftfilter die gewünschte Qualität. Am Arbeitsplatz ist jedoch die Reinheit der Luft erheblich schlechter.
Dieser Umstand führte zur Entwicklung des LAMINAR-FLOW-Systems.
Durch Laminar-Flow wird eine nahezu vollkommene Kontrolle und Abfuhr aller schwebefähigen Teilchen erreicht!
